Zeitschrift für Kernenergiewissenschaft und Energieerzeugungstechnologie

Plasma- und Ionenquellenanwendungen

Abdelrahman MM

Plasma- und Ionenquellenanwendungen

Die Menschen sind ständig auf der Suche nach einer Technologie, die bessere Ergebnisse mit weniger Behandlungen und kürzeren Ausfallzeiten bietet. In der Welt der Physik bezeichnet der Begriff „Plasma“ ein elektrisch leitendes Medium, das aus einem Gas besteht, das eine Mischung aus etwa gleich vielen freien positiven und negativen Ladungen in einem „quasi-neutralen“ Zustand enthält. Es entsteht, wenn ein Teil der Atome oder Moleküle im Gas ionisiert wird, und wird manchmal als vierter Aggregatzustand bezeichnet, der sich vom festen, flüssigen und gasförmigen Zustand unterscheidet. Gasentladungsplasmen werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, beispielsweise in Lichtquellen, Plasmabildschirmen, Lasern, zum Ätzen von Oberflächen und zum Aufbringen dünner Schichten in der Halbleiterindustrie. Darüber hinaus finden sich Verwendungen bei der Oberflächenmodifizierung, dem Aufbringen von Schutzbeschichtungen, in der analytischen Chemie (zur Analyse hauptsächlich fester Materialien), in der Biotechnologie und bei Umweltanwendungen.