Zeitschrift für Nanomaterialien und molekulare Nanotechnologie

Nanolithographie

Die Nanolithographie ist der Zweig der Nanotechnologie, der sich mit der Erforschung und Anwendung der Herstellung nanometergroßer Strukturen und der Kunst des Ätzens, Schreibens oder Druckens auf mikroskopischer Ebene befasst. Die Abmessungen von Zeichen liegen in der Größenordnung von Nanometern. Zu den in der Nanolithographie verwendeten Instrumenten gehören das Rastersondenmikroskop (SPM) und das Rasterkraftmikroskop (ATM). Das SPM ermöglicht eine detaillierte Betrachtung der Oberfläche, ohne diese unbedingt zu verändern. Sowohl das SPM als auch das ATM können zum Ätzen, Schreiben oder Drucken auf einer Oberfläche in Einzelatomdimensionen verwendet werden. Nanolithographie wird beispielsweise bei der Nanoherstellung hochmoderner integrierter Halbleiterschaltkreise (Nanoschaltungen), für nanoelektromechanische Systeme (NEMS) oder für fast jede andere grundlegende Anwendung in verschiedenen wissenschaftlichen Disziplinen der Nanoforschung eingesetzt. Diese Technologie kann für die Nanofabrikation verschiedener halbleitender integrierter Schaltkreise (ICs), NEMS und für verschiedene Anwendungen in der Forschung geeignet sein.