Zeitschrift für Nanomaterialien und molekulare Nanotechnologie

Nanofabrikation

Unter Nanofabrikation versteht man die Entwicklung und Herstellung von Geräten mit Abmessungen im Nanometerbereich. Ein Nanometer ist ein Millionstel Millimeter. Interessante Themen für die Nanofabrikation sind alle Aspekte lithografischer Methoden, die auf den Submikron- bis Nanobereich abzielen, sowie die Anwendung der erzeugten Strukturen und Geräte in physikalischen und biomedizinischen Experimenten. Die Nanofabrikation ist für Computeringenieure von Interesse, da sie die Tür zu Mikroprozessoren und Speicherchips mit extrem hoher Dichte öffnet. Es wurde vorgeschlagen, dass jedes Datenbit in einem einzelnen Atom gespeichert werden könnte. Der Bereich der Nanotechnologie, der sich mit der Untersuchung und Anwendung von Nanostrukturen befasst, wird als Nanofabrikation bezeichnet. In den letzten Jahren gab es wichtige Entwicklungen bei den Methoden zur Herstellung von Geräten im Nanomaßstab. Zu den Methoden gehören Elektronenstrahllithographie, Atomlagenabscheidung und molekulare Gasphasenabscheidung. Diese Techniken sind allesamt Erweiterungen des allgemeinen wissenschaftlichen Fortschritts im Gegensatz zu Methoden, die ausschließlich für die Herstellung von Nanogeräten entwickelt wurden.